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FT Handler測試分選——芯片質(zhì)量的最后把關(guān)者

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IC芯片趨向高集成化和微型化,且生產(chǎn)制程工藝繁瑣,任何環(huán)節(jié)的出錯都容易導(dǎo)致器件失效。IC芯片完成加工制造工序后,為驗(yàn)證IC功能的正常與完整性,在其上系統(tǒng)前,需先進(jìn)行測試和分類,剔除不良品以降低成本的損失。采用好的芯片測試設(shè)備及方法是提高芯片制造水平的關(guān)鍵之一。

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FT Handler測試分選技術(shù)可應(yīng)用于表面貼裝半導(dǎo)體器件生產(chǎn)的最后一道工序,對封裝完成后的芯片進(jìn)行全自動化電參數(shù)測試、分類甄選存儲、激光打印標(biāo)識、標(biāo)識檢測、外形尺寸檢測及最終編帶包裝輸出。其完整流程如下:

器件以管裝/散裝(振動圓盤)等方式上料,單軌運(yùn)輸至主盤。其中主盤是以高速轉(zhuǎn)塔式進(jìn)口支取旋轉(zhuǎn)力矩(DDR)馬達(dá)系統(tǒng)為中心,采用工控機(jī)控制;配置了獨(dú)立的上/下驅(qū)動配置,使得十八個吸嘴可進(jìn)行上/下高速動作,一嘴一器件,開始進(jìn)行轉(zhuǎn)塔式工作。

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測試分選流程圖

首先通過光學(xué)檢測和電檢測進(jìn)行器件方向檢測,然后校正方向以便進(jìn)入測試工位進(jìn)行電參數(shù)測試。設(shè)備可支持多達(dá)8個(基本2個)平行式測試站,各工位可測(不)同性能或燒錄芯片導(dǎo)入程序,時產(chǎn)量可達(dá)到50K+@<30ms。分選機(jī)依測試結(jié)果對器件進(jìn)行激光打標(biāo)和印字檢查。隨后運(yùn)用高速工業(yè)相機(jī)、特制光學(xué)模組針對定位方向、尺寸測量、外觀缺陷等進(jìn)行2D引腳/3D5s檢測。檢測完畢后,進(jìn)行分選、收料或編帶。編帶前還需再進(jìn)行器件帶內(nèi)檢測,確保分選的芯片符合需求和質(zhì)量。

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大族測試分選設(shè)備參數(shù)(部分舉例)

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測試分選流程及部分模塊實(shí)圖

高批量進(jìn)行自動化的作業(yè)方式時要求系統(tǒng)具備更高的穩(wěn)定性、較低的故障率,降低人工成本;采用模塊化的設(shè)計(jì)方便調(diào)整和維修,降低維修時間成本;兼容更多類型的封裝形式,從而形成更強(qiáng)的柔性化生產(chǎn)能力。FT Handler測試分選設(shè)備作為“芯片質(zhì)量的最后把關(guān)者”朝著高速率、穩(wěn)定性強(qiáng)、柔性化測試等方向發(fā)展,大族顯視與半導(dǎo)體用匠心做研發(fā),滿足市場發(fā)展需求。

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大族測試分選設(shè)備

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