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激光標刻成就“芯身份”

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在IC產(chǎn)品生產(chǎn)制造中,由于制程工序繁雜,為了保證整個制程鏈的可追溯性、且不損傷元器件的前提下,需在已塑封好IC的特定位置,打上清晰的流水編號、產(chǎn)品名稱、廠商等訊息所對應的特定字符串。

隨著芯片尺寸越來越小,標刻的字符愈小,對打標精度的要求也越來越高。大族顯視與半導體針對IC打標的要求,結(jié)合自身激光工藝,推出一套完整的全自動高精度半導體標刻系統(tǒng)解決方案,并在實際生產(chǎn)中應用。

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圖源:攝圖網(wǎng)


為了保證加工精度和良率控制,大族顯視與半導體對PLC控制系統(tǒng)、視覺系統(tǒng)、光學系統(tǒng)、軟件系統(tǒng)等方面進行了優(yōu)化和技術(shù)突破??蛇m用于半導體行業(yè)封裝后段,滿足SOP、QFN、LGA、BGA等各種引線框架和基板類IC產(chǎn)品打標。

特點及優(yōu)勢  


(180x320)mm的大幅面高精度打標技術(shù)

采用雙激光器,雙打標頭來實現(xiàn)(180x320)mm的大幅面打標范圍,激光光斑大小在50~90μm可調(diào)節(jié);選用高品質(zhì)的激光掃描振鏡,長時間激光偏移保持在5μm;


穩(wěn)定的激光器輸出功率,確保加工工藝的一致性

配置獨立的能量檢測和能量補償系統(tǒng),可自動通過軟件定期對能量進行檢測和補償,確保加工品質(zhì),填補了國內(nèi)激光標刻設備在此方面的空白;同時也可保證操作人員的安全性;


防呆及Post inspection功能,及時遏制不良連續(xù)產(chǎn)生

采用機械&視覺雙定位產(chǎn)品的來料、加工、檢測進行全面的視覺監(jiān)控和視覺定位及檢測,保證標刻精度;


自研軟件系統(tǒng)運行穩(wěn)定,優(yōu)化編輯界面,提升用戶體驗

系統(tǒng)支持一鍵掃碼,自動提取印字信息等交互功能; 支持2D系統(tǒng),選擇性打標、防反檢測;


采用獨特的壓輪技術(shù),可兼更大尺寸的產(chǎn)品翹曲

目前市場可接受產(chǎn)品翹曲標準是5mm,但大族設備可兼容7mm的產(chǎn)品翹曲,進行正常的運行加工。


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△大族全自動高精度激光標刻設備


主要參數(shù)  


掃描模式

單線/填充(可選)

線寬

70±20μm可調(diào)

刻蝕深度

15-40μm

位置精度

±0.02mm

字體尺寸精度

±0.02mm

標刻速度

1000mm/s

Throughput

1000strip/hour


加工效果  

樣品圖總.jpg






半導體底圖 -1.jpg


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