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緊湊型涂膠顯影機

設(shè)備型號：CD06-XS1C1D1A

應(yīng)用范圍：化合物半導(dǎo)體、功率器件、MEMS、射頻集成電路、LED、科研項目、光學(xué)器件




主要特點：

設(shè)備特點：

1、占地小、穩(wěn)定性高、操作與維護方便

2、易于操作，界面友好

3、保養(yǎng)維護方便





主要參數(shù):


主要參數(shù)

片盒數(shù)量

2CS

wafer 類型

圓片

wafer 尺寸（mm）50-150
產(chǎn)能（WPH）50
襯底材料Si、Glass、Sapphire、GaN、GaAs、SiC、LiTaO3、Li3PO4
適用工藝g-line、i- line、PI



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