設(shè)備型號(hào)：DM100-M0406B
應(yīng)用范圍：適用于將巨量的Micro LED芯片轉(zhuǎn)移到目標(biāo)基板上，轉(zhuǎn)移過程具有極高的良率和效率
主要特點(diǎn)：
設(shè)備特點(diǎn)：
1、轉(zhuǎn)移效果好，巨量轉(zhuǎn)移過程中對(duì)芯片無損傷，具備高良率、高效率的特點(diǎn)
2、可實(shí)現(xiàn)巨量轉(zhuǎn)移和選擇性轉(zhuǎn)移，對(duì)Micro LED芯片進(jìn)行陣列排布
3、可根據(jù)AOI/PL設(shè)備提供的Mapping圖，進(jìn)行高速準(zhǔn)確選擇性轉(zhuǎn)移
4、具備高精度對(duì)位系統(tǒng)、高精度姿態(tài)調(diào)節(jié)系統(tǒng)，確保Mciro LED轉(zhuǎn)移落點(diǎn)精準(zhǔn)
5、全自動(dòng)化上下料，可根據(jù)產(chǎn)品進(jìn)行自動(dòng)化定制
主要參數(shù):
| 主要參數(shù) | 上載臺(tái)兼容尺寸 | 4寸 6寸 8寸 (可定制) |
| 下載臺(tái)兼容尺寸 | 370*470mm (可定制) | |
| 三色自動(dòng)上下料 | 支持 | |
| 光斑形貌 | 平頂光 | |
| 光班均勻性 | ≥96% | |
| 最大能量密度 | ≥1500 mJ/cm2 | |
| 對(duì)位精度 | < ±1um | |
| Gap調(diào)節(jié)精度 | ≤1um | |
| Xy運(yùn)動(dòng)平臺(tái) | 根據(jù)產(chǎn)品定制 | |
| 光罩Mask切換 | 全自動(dòng)切換 |
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