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碳化硅裂片機(jī)

設(shè)備型號：DSI-L-SS1126

應(yīng)用范圍：SiC、Si等材料裂片



主要特點(diǎn)：

設(shè)備特點(diǎn)：

自動上下料，識別輪廓 



主要參數(shù):



主要參數(shù)加工尺寸2-6inch晶圓
加工速度2.5道/s
加工精度±3um
平臺參數(shù)165mm*165mm
稼動率0.95
重大故障間隙時間1000H
良率≥99.5%



加工效果：

歡迎來電咨詢

400-666-4000

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