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大品牌/高質(zhì)量/中國造:12英寸雙軸全自動刀輪切割設(shè)備

據(jù)國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(SEMI)統(tǒng)計(jì)和預(yù)測,原始設(shè)備制造商全球半導(dǎo)體制造設(shè)備銷售額相比2020年的711 億美元,2021年增長 34% 至 953 億美元,2022年將創(chuàng)下超過1000億美元的新高。

從市場規(guī)模和自制能力的角度看,中國作為全球半導(dǎo)體核心市場,對半導(dǎo)體存在巨大需求。但目前我國半導(dǎo)體面對市場自給不足、供需失衡的問題,政府先后頒布多個(gè)支持性政策文件,旨在做大做強(qiáng)中國集成電路產(chǎn)業(yè)。

為滿足提升自給率政策目標(biāo),對IC制造產(chǎn)業(yè)而言,晶圓代工與半導(dǎo)體制造業(yè)者需實(shí)現(xiàn)產(chǎn)能擴(kuò)充,而要真正實(shí)現(xiàn)自給自足,提高半導(dǎo)體裝備和材料國產(chǎn)品牌供貨能力勢在必行。


在半導(dǎo)體工藝制程中,無論是晶圓芯片的切割,還是后道產(chǎn)品的框架切割,刀輪切割機(jī)都是核心設(shè)備。對應(yīng)之材料有硅、金屬和環(huán)氧樹脂的復(fù)合材料、玻璃、陶瓷、鈮酸鋰、鉭酸鋰、砷化鎵、藍(lán)寶石等。

 

刀輪加工原理

使用空氣靜壓電主軸,安裝金剛石砂輪刀片高速旋轉(zhuǎn),對被加工物進(jìn)行直線切割或開槽,刀輪機(jī)的工作是把整片材料按照預(yù)先設(shè)定好的分度分割成單個(gè)晶粒的過程。如圖1所示。

圖片3.png圖片4.png

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展,隨之也對刀輪切割機(jī)的性能提出了更高的要求。大方舟科技通過多項(xiàng)技術(shù)的自主研發(fā),成功研制出12英寸雙軸全自動刀輪切割設(shè)備,如圖2所示。通過在樣機(jī)上進(jìn)行大量的工藝試驗(yàn),所加工產(chǎn)品達(dá)到了切割品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn),得到行業(yè)客戶認(rèn)可。圖片3.png

12英寸雙軸全自動刀輪切割設(shè)備

12英寸雙軸全自動刀輪切割設(shè)備.png

1、設(shè)備特點(diǎn):

高精度:針對半導(dǎo)體行業(yè)的高精度設(shè)計(jì)

自動校準(zhǔn):搭載自動對焦、自動對準(zhǔn)、刀痕識別及崩邊檢測等圖像處理功能

高性能主軸:2.2KW,60000rpm,大功率,直流軸

全自動集成:全自動上下料、對準(zhǔn)、切割、清洗、 無人化值守,并可遠(yuǎn)程監(jiān)控完成


2、設(shè)備參數(shù):

圖片1.png


 3、切割效果:

圖片2.jpg


深圳市大方舟科技有限公司經(jīng)過多年的努力,在高精度刀輪切割智能裝備核心部件的研發(fā)上實(shí)現(xiàn)了質(zhì)的突破,真正做到了自主研發(fā)、自主制造。

大方舟科技還根據(jù)客戶的不同需求,研發(fā)出了6英寸自動刀輪機(jī)、12英寸自動刀輪機(jī)、最大18英寸雙軸刀輪機(jī)等成熟產(chǎn)品,并已形成批量銷售。大方舟科技將依托現(xiàn)有的技術(shù)積累,持續(xù)對公司產(chǎn)品進(jìn)行提升和優(yōu)化,實(shí)現(xiàn)創(chuàng)新進(jìn)一步做出突破,提升國產(chǎn)設(shè)備的品質(zhì)和性能,降低行業(yè)制造成本,為增強(qiáng)我國半導(dǎo)體行業(yè)的可持續(xù)發(fā)展能力貢獻(xiàn)一份力量。


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