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Micro LED激光巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備

應(yīng)用范圍:Micro LED巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備是通過(guò)精確定位系統(tǒng)來(lái)實(shí)現(xiàn)芯片巨量轉(zhuǎn)移,可用于將玻璃暫態(tài)基板芯片精確轉(zhuǎn)移至下層基板,也可延伸用于Mini LED巨量轉(zhuǎn)移系統(tǒng)中



主要特點(diǎn):

1、轉(zhuǎn)移效果良好,轉(zhuǎn)移過(guò)程對(duì)芯片無(wú)損傷

2、擁有高精度對(duì)位系統(tǒng), Micro LED轉(zhuǎn)移落點(diǎn)精準(zhǔn),位置精度達(dá)到±1μm

3、轉(zhuǎn)移效率可達(dá)2kk/h-100kk/h



主要參數(shù):


主要參數(shù)兼容種類Carrier:圓片4 Inch、 6 Inch帶平邊
Substrate≤470*350
對(duì)位精度可精確對(duì)位,對(duì)位誤差≤1μm,對(duì)位角度誤差≤ 6arcsec
轉(zhuǎn)移良率轉(zhuǎn)移良率可達(dá)99.99%
轉(zhuǎn)移效率轉(zhuǎn)移效率可達(dá)2kk/h-100kk/h


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