設(shè)備型號(hào)：DSI-D-PHA0006-A01
應(yīng)用范圍：電容電感線(xiàn)路圖形光刻、LED晶圓
主要特點(diǎn)：
1、設(shè)備采用高照度、高均勻性的365納米紫外光學(xué)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)最小1um光刻分辨率（可根據(jù)客戶(hù)需求定制、可選用LED光源）
2、采用接近式的工作方式（可選接觸式、真空式），雙工位全自動(dòng)上下料、24小時(shí)持續(xù)生產(chǎn)，產(chǎn)能處于業(yè)內(nèi)領(lǐng)先水平
3、獨(dú)特的電源調(diào)節(jié)系統(tǒng)配合電驅(qū)動(dòng)式光源調(diào)節(jié)系統(tǒng)，可連續(xù)不間斷調(diào)節(jié)曝光功率，完美適配多種生產(chǎn)場(chǎng)景需求
4、搭載高精度CCD相機(jī)，實(shí)現(xiàn)正面1um精確對(duì)位，精密的掩膜版/光刻膠間隙（Gap）控制
主要參數(shù):
| 主要參數(shù) | 加工尺寸 | 曝光尺寸：6"*6" |
| 加工速度 | >140pcs/h（曝光時(shí)間=15s） >300pcs/h（曝光時(shí)間=3s） | |
| 加工精度 | 曝光分辨率：3μm (支持客戶(hù)定制) | |
| 平臺(tái)定位精度 | X 軸： ±1μm | |
| Y 軸： ±1μm | ||
| Z 軸： ±3μm | ||
| Theta 軸： 0.1° | ||
| 激光器參數(shù) | 光源：500W UV Lamp，波長(zhǎng)365nm (光源可選UVLED或UV汞燈，支持客戶(hù)定制) 感光區(qū)域：132*132mm (支持客戶(hù)定制) 工作照度：≥34mw/cm2 光源均勻度：≤3% 曝光均勻度：≤10% | |
| Tact time | 9s(不包含曝光時(shí)間） | |
| 稼動(dòng)率 | >0.95 |
加工效果：
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